武漢離子滲氮爐零件表面比較均勻的覆蓋著輝光，電壓降落主要集中在陰極附近，在高能離子轟擊下，零件各部位的升溫速度一般比較均勻。調(diào)節(jié)電源的輸出功率就能控制升溫速度，使零件緩慢地均勻升溫。采取一些溫度均勻化措施后可以在零件上獲得比較均勻的滲氮層。離子滲氮速度快，滲氮時間短，因此對長軸類零件的彎曲變形，套類零件的孔徑漲縮和橢圓度等變形，離子滲氮都小于氣體滲氮。

　　離子滲氮后零件尺寸一般都有稍微漲大，但是比氣體滲氮的漲大量小。這是因為陰極濺射抵消了一部分由于氮的滲入引起的體積漲大效應(yīng)。在滲氮零件的棱角處，由于相鄰兩個面同時滲氮的結(jié)果產(chǎn)生了較其他部位更為嚴重的尺寸膨脹，稱為邊緣突起。這對接觸面的承載能力有不良影響。由于存在陰極濺射，離子滲氮產(chǎn)生的這種邊緣突起比氣體滲氮小得多，并且可以通過強化陰極濺射，進一步減小邊緣突起，獲得比較理想的輪廓。

　　降低滲氮溫度能顯著減小滲氮零件的變形。離子滲氮在350℃以上處理就有強化效果。采用低溫離子滲氮往往可以解決某些零件滲氮變形的難題。同時，低溫離子滲氮還具有保持零件足夠高的心部強度，增強承載能力等特點。