隔膜計量泵的液力端(泵頭)除具有與柱塞式計量泵一樣的液缸、柱塞及吸入、排出閥外，還有隔膜腔(包括隔膜、隔膜限制板等)、安全閥、放氣閥及補油閥等部件。
隔膜
隔膜形式有平板式、波形板式、波紋管式、管式、錐形隔膜等，有時也可將2種隔膜組合在一起使用。板式隔膜的應用較廣泛，管式隔膜、錐形隔膜適用于高黏度介質。常用隔膜材料有四氟乙烯、特殊合金、合成橡膠等。
當介質壓力小于30MPa時，膜片材料通常由聚四氟乙烯或帶彈性背襯的聚四氟乙烯制成；當壓力超過30MPa時，膜片材料常用特殊合金或PEEK制成；當輸送液體溫度大于150℃時，采用聚四氟乙烯隔膜應得到買方的批準。
閥部件
為保證隔膜計量泵的計量精度，隔膜計量泵的補油箱均設有安全閥、放氣閥和補油閥，以使柱塞和隔膜之間液壓腔內液壓油的容積保持不變。當液壓腔壓力超過規定的允許壓力時，安全閥打開；當排出管路壓力異常升高時，安全閥也能起到保護整個系統的作用。
放氣閥用于將柱塞工作時帶入液壓腔的氣體排出液壓腔；補油閥的作用是補償液壓腔內因泄漏而減少的液壓油油量。