武漢離子滲氮爐零件表面比較均勻的覆蓋著輝光，電壓降落主要集中在陰極附近，在高能離子轟擊下，零件各部位的升溫速度一般比較均勻。調節電源的輸出功率就能控制升溫速度，使零件緩慢地均勻升溫。采取一些溫度均勻化措施后可以在零件上獲得比較均勻的滲氮層。離子滲氮速度快，滲氮時間短，因此對長軸類零件的彎曲變形，套類零件的孔徑漲縮和橢圓度等變形，離子滲氮都小于氣體滲氮。

　　離子滲氮后零件尺寸一般都有稍微漲大，但是比氣體滲氮的漲大量小。這是因為陰極濺射抵消了一部分由于氮的滲入引起的體積漲大效應。在滲氮零件的棱角處，由于相鄰兩個面同時滲氮的結果產生了較其他部位更為嚴重的尺寸膨脹，稱為邊緣突起。這對接觸面的承載能力有不良影響。由于存在陰極濺射，離子滲氮產生的這種邊緣突起比氣體滲氮小得多，并且可以通過強化陰極濺射，進一步減小邊緣突起，獲得比較理想的輪廓。

　　降低滲氮溫度能顯著減小滲氮零件的變形。離子滲氮在350℃以上處理就有強化效果。采用低溫離子滲氮往往可以解決某些零件滲氮變形的難題。同時，低溫離子滲氮還具有保持零件足夠高的心部強度，增強承載能力等特點。