離子滲氮工藝的幾個問題：

　　1.滲氮工件的溫度測量

　　普通熱處理設備是利用電熱體發熱加熱工件，爐膛內溫度基本一致，測溫熱電偶的溫度也能代表工件溫度。離子滲氮工件是靠自身輝光放電加熱，而且由于工件帶陰極電位，熱電偶也不能與工件直接接觸，所以，測溫熱電偶的溫度與工件溫度往往不一致。爐內工件越少，熱電偶距離工件越遠，熱電偶的溫度與工件溫度相差越大。

　　實際工藝操作時，經常采取目測溫度﹑模擬測溫等方法，彌補測溫不準確的問題。

　　2.溫度均勻性

　　離子滲氮工件是靠自身輝光放電加熱，同一爐的不同工件，質量不同，表面積不同，受熱也不同。所以，工件溫度可能不均勻。

　　實際工藝操作時，同一爐工件相差不要太懸殊。要考慮工件的裝爐方式，質量大，表面積小的工件受熱條件差，溫度可能偏低，裝爐時，放在陰極盤的內圈或下部，必要時，加適當的輔助陰極。

　　3.帶有小孔、窄縫工件的處理

　　帶有小孔、窄縫的工件，容易產生空心陰極效應，導致局部電流密度過大，溫升過高而產生弧光放電，工藝不能進行。將小孔、窄縫屏蔽﹝堵或蓋﹞，如果不易屏蔽，則要調整氣壓，來調整陰極放電長度d輝，避免產生空心陰極效應。

　　4.減小滲氮工件變形的措施

　　離子滲氮工件的變形很小，一般可以滿足工件的精度要求。對于精度要求很高的工件，可以采取以下措施，減小變形：

　　﹝1﹞緩慢升溫

　　﹝2﹞在精加工前，增加一道失效處理工藝，消除冷加工應力。