在預熱過程中，氮化后的零件具有必要的力學性能，消除了加工過程中的內應力，減少了輝光離子氮化爐滲氮過程中的變形，離子氮化爐為了獲得良好的氮化物層結構，有一個預熱過程，許多零件在滲氮前需要不同的預熱處理，預熱工藝對滲氮參數的要求，預熱后，下一道工序的加熱溫度需要比滲氮溫度高20度，否則零件在滲氮過程中會變形，變形量無法控制，我們常用的預熱工藝包括回火、淬火、回火、正火和退火，淬火和回火是鋼結構常用的預熱工藝，淬火和回火的回火溫度越高，工件的硬度越低，因此，回火溫度應根據基體性能和滲層性能的要求來確定。

　　淬火和回火引起的脫碳對滲碳層的硬度和脆性有很大影響，因此工件在淬火和回火前應留有足夠的余量，以便在加工過程中完全去除脫碳層，對于滲氮后要求較低的工件，還應采取穩定化處理和措施，處理溫度應低于淬火和回火溫度，高于滲氮溫度，等離子滲氮后，零件尺寸一般略有增加，但小于氣體滲氮。

　　等離子氮化爐后，零件尺寸一般略有增加，但小于氣體滲氮，在滲氮零件的拐角處，由于相鄰兩個表面同時滲氮，尺寸膨脹比其他零件更嚴重，稱為邊緣突出，這對接觸面的承載能力有不良影響。