離子滲氮是在低真空的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數百伏的直流電壓，使之產生的輝光放電進行滲氮處理的化學熱處理工藝。離子滲氮有多種名稱，如離子氮化、輝光放電氮化、離子轟擊滲氮、等離子體滲氮等。

離子滲氮表面形成的滲氮層具有優異的力學性能，如高硬度、高耐磨性、良好的韌性和疲勞強度等，并使離子滲氮零件的使用壽命成倍地提高。此外，離子滲氮節約能源，滲氮氣體消耗少，操作環境沒有污染。其缺點是設備昂貴，工藝成本高，不宜于大批量生產。離子滲碳是將工件裝入溫度在900℃以上的真空爐內，在碳氫化合物的減壓氣氛中加熱，同時在工件( 陰極)和陽極之間施加高壓直流電，產生輝光放電現象，使活化的碳被離子化，在工件附近加速并轟擊工件表面進行滲碳的工藝。 離子滲碳從加熱、滲碳到淬火處理，都在同一裝置內進行。這種裝置是具有輝光放電機構的加熱滲碳室和油淬火室的雙室型熱處理爐。離子滲碳后工件的硬度、疲勞強度、耐磨性等力學性能比采用傳統滲碳方法所得力學性能都高，而且滲碳速度快，特別是對狹小縫隙和小孔能進行均勻的滲碳，滲碳層表面碳含量和滲層深度容易控制，工件不易氧化，表面潔凈，耗電量低，沒有污染。根據同樣的原理，離子轟擊熱處理還可以進行離子碳氮共滲、離子硫氮共滲、離子滲金屬等，所以在國內外具有很大的發展前途。